晶圆级应变SOI技术

定　　价：37 元

• 作者：戴显英，苗东铭，荊熠博著
• 出版时间：2024/11/1
• ISBN：9787560674063
• 出 版 社：西安电子科技大学出版社

• 中图法分类：TN405 
• 页码：150页
• 版次：1
• 开本：26cm

内容简介

本书共分7章，主要介绍SOI晶圆制备技术、SOI晶圆材料力学特性与结构特性、机械致晶圆级单轴应变SOI技术、高应力氮化硅薄膜致晶圆级应变SOI技术及其相关效应、高应力氮化硅薄膜致应变SOI晶圆制备、晶圆级应变SOI应变模型、晶圆级应变SOI应力分布的有限元计算。