真空镀膜技术与应用

定　　价：98 元

• 作者：主编田灿鑫
• 出版时间：2024/5/1
• ISBN：9787562969792
• 出 版 社：武汉理工大学出版社

• 中图法分类：TN305.8 
• 页码：234页
• 开本：16开

内容简介

本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上，着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等，紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容，最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出，内容丰富而精炼，工程实践性强，在强化理论的同时，重点突出了工程应用，賄很强的实用性。