微机电系统设计与制造(研究生系列规划教材)

定　　价：32 元

• 作者：刘晓明 朱钟淦
• 出版时间：2008/6/1
• ISBN：9787118041211
• 出 版 社：国防工业出版社

• 中图法分类：TH180 
• 版次：1
• 开本：16开

内容简介

本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路（IC）基本制造技术，MEMS的制作技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。本书针对非微电子专业的高年纪本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定了必要的基础。