RF MEMS器件与技术

定　　价：48 元

• 作者：郭兴龙, 编著
• 出版时间：2021/11/1
• ISBN：9787568417235
• 出 版 社：江苏大学出版社

• 中图法分类：TN4 
• 页码：184
• 版次：1
• 开本：16开

内容简介

RF MEMS（射频微机电系统）是MEMS（Micro Electromechanical System,微机电系统）技术的重要应用领域之一。本书内容覆盖了RF MEMS的理论、设计和大部分RF MEMS器件，RF MEMS技术可望实现和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、处理、传输、处理和执行于一体的系统集成芯片（SOC）成为可能。本书适合高等院校微电子技术、微波技术、集成电路专业、电子科学与技术、电子信息专业、微机电系统（MEMS）技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读使用。