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《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》共分为12章,从第1章共性的设计理论和实现方法出发,对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括:第2章的一分为二微波功分器,第3章的间接加热热电式功率传感器,第4章的直接加热热电式功率传感器,第5章的电容式功率传感器,第6章的电容式和热电式级联功
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